净化工程新技术--高精度与极端环境控制

高精度与极端环境控制（半导体 / 生物制药）

1. 超净过滤与 AMC 控制

· H14 ULPA + 化学过滤器：对 0.1μm 颗粒效率≥99.9995%，同时去除分子污染物（AMC）。

2. 温湿度 / 压差极致控制

· 三级转轮除湿 + 液氮深冷：温度控至 - 70℃，湿度≤1% RH，耐受 HF 酸腐蚀（pH≤1）。

· 微压差动态平衡：±0.5Pa 级控制，杜绝交叉污染，适配细胞治疗 / 无菌灌装。